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超快激光加工系統(tǒng)配置高重頻飛秒激光放大器及高精度大行程氣浮導(dǎo)軌直線電機位移平臺，實現(xiàn)亞微米級空間分辨率的加工精度；同時配置空間光調(diào)制器（SLM）進行激光焦斑整形，可將飛秒激光聚焦于透明材料內(nèi)部直寫加工。該系統(tǒng)適合對于多種結(jié)構(gòu)器件進行減材制造或折射率改性制造，適用于高等院校及科研院所進行光波導(dǎo)直寫、光纖光柵刻寫、硬質(zhì)材料精密切割與鉆孔、材料表面微納加工等方向研究。吉林大學(xué)超快激光精密加工團隊獲省部級科學(xué)技術(shù)一等獎3項，國家自然科學(xué)二等獎1項（2020年）。研究團隊依托集成光電子學(xué)國家重點實驗室，已完成《超快激光與材料相互作用多尺度理論與觀測》《面向跨尺度飛秒激光加工的微區(qū)形態(tài)性能原位監(jiān)測與分析系統(tǒng)研制》《飛秒激光高速、大視場微納制造的新方法及其機理研究》等科技部或國家自然基金委重大研發(fā)項目。研究團隊擁有近20年飛秒激光加工技術(shù)累積，對軟材料SU8光刻膠，硬質(zhì)材料包括玻璃、藍(lán)寶石、石英、硅、金剛石、硫化鋅等有雄厚的加工技術(shù)積淀。